製備銥單原子針的新方法
技術授權與產學合作諮詢
製備銥單原子針的新方法
本院覽號
02A-960514
公告日期
智財權狀態
美國US 7737414 B2放棄維護、台灣(發明)I381164放棄維護、日本5421541放棄維護
摘要
本發明是一完整、簡單可靠的方法製備具有單原子尖銳度的銥針。此單原子針可以成為理想的離子原、同調電子束產生源，或一理想的的掃瞄探針。 既有技術製備單原子金屬針的過程複雜，必須以特殊技巧、經過繁複的手續，方能達成，而所製備的單元子針，其針尖結構卻不具有熱及化學穩定性，容易毀損，也無法再生。本技術則是一種簡便可靠的方法，在同一腔體內重生超過百次，因此本發明與現有已知技藝相較，極具工業應用價值。
技術優勢
以真空附氧法製備單顆原子針，具簡易、可靠、低成本、可量化生產等特點。
應用範圍
當銥單元子針為離子束源時，可應用於： 聚焦離子束 離子顯微儀 二次離子質譜儀 離子佈植機 離子顯微儀等。 當銥單元子針為電子槍時，可用於： 電子全像術 場發射電子顯微鏡 掃瞄探針顯微儀 電子能量光譜儀 電子繞射顯微鏡 低能量電子顯微儀 電子干涉儀 電子微影機
創作人
郭鴻曦 、黃英碩 、 鄭天佐
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製備銥單原子針的新方法