多軸致動器
多軸致動器
本院覽號
02A-991028
公告日期
智財權狀態
德國102012104749放棄維護、台灣(發明)I 472471放棄維護、美國US 8,569,932 B2放棄維護
摘要
本多軸致動器可以單一系統取代量測系統之大行程粗調平台以及三軸奈米掃瞄器。此致動器可應用於各種需要釐米級長行程、高剛性、高速度與奈米解析度定位之場合。
技術優勢
以簡單之結構達到釐米級長行程位移與奈米級高解析度致動解析度，並具有比並聯式致動器更高之系統剛性。
應用範圍
取代掃瞄探針顯微鏡之X、Y、Z粗調平台以及X、Y、Z掃瞄器 電子顯微鏡中之多軸樣品台 生物細胞實驗中之微探針、微試管多軸致動調整平台 高解析度多自由度反射鏡座 電子顯微鏡中之奈米級解析度多自由度微型機械手臂 各種需要釐米級長行程與高解析定位之應用
創作人
胡恩德、黃英碩
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