三軸式壓電馬達模組
三軸式壓電馬達模組
本院覽號
02T-990310
公告日期
智財權狀態
know-how
摘要
可同時提供三軸移動，適用於需3D定位之應用 可提供長程之移動範圍 (超過5公釐), 但又可達到奈米等級的精準步距 可載重達10公克以上 體積小 (整組小於1.5cm x 1.5 cm x 3cm)，並可用於真空環境下。 製作簡單，成本低
技術優勢
可同時提供三軸移動，適用於需3D 位移之應用 組裝零件少, 因此不易損壞 可依需求將加工件之尺寸變大以增加載重量, 或將尺寸變小以適用於特殊小空間
應用範圍
可與精密實驗儀器結合使用：例如電子顯微鏡所需之樣品定位使用 需在小空間精準移動小物體之者: 例如機器人身上的裝置
創作人
薛韻馨、洪紹剛
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三軸式壓電馬達模組
