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創新一體式多功能探針夾持機構應用於原子力顯微鏡（AFM）之探針的固定，可對探針施予一高頻之微小震動，以滿足不同掃瞄模式之需求。此探針夾持機構的結構簡單緊緻、體積小、質量輕。可大幅提高原子力顯微鏡光路設計的彈性。