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中國已申請、台灣(發明)I 502170放棄維護

本發明成功研發一種四自由度光學量測系統，可同時量測得單一線性軸的線性位移、俯仰度、搖擺度以及滾動度。由於本系統其結構相對緊緻且微小，有利於整合在所有精密機械系統中，作為定位與誤差量測及回授之裝置，且本系統之檢測機制原理，等同於都普勒干涉儀及自動視準儀原理，故具有相當可信程度與穩定性，可直接取代現有高階量測設備，例如雷射干涉儀與自動視準儀等等。

本光學讀取頭多軸量測系統可應用於： 取代現有光學尺，成為新穎的誤差回授裝置。 重新定義光學尺的應用範圍，本系統除光學尺可提供的線性位移資訊外，尚可提供3個角度誤差訊號，對於阿貝誤差的補償絕對是一大優勢。 作為工具機或多軸平台的誤差校正與量測之裝置，等同於雷射干涉儀、自動視準儀與電子水平儀之功能。 可作為旋轉台全角度(360∘)閉迴路系統。