光學偵測系統及其干涉控制方法
光學偵測系統及其干涉控制方法
本院覽號
02A-1010911
公告日期
智財權狀態
台灣(發明)I540308放棄維護
摘要
本發明可成功將像散式量測系統的干涉現象消除，可以大幅提升像散射光學儀器的性能。也利用此技術，能刻意製造穩定波長的人工干涉，進一步利用此人工干涉校正致動器之位移。
技術優勢
像散式量測技術已用在許多精密量測上，因其具有非常高的訊號頻寬與次奈米級的解析度，此發明可以消除在精密量測上遇到之干涉問題，進一步提升相關儀器的性能。 本發明亦可改變實施的方式，產生干涉，用此干涉進行致動器行程的校正。
應用範圍
需使用到像散式量測系統的光學儀器，例如：像散式原子力顯微鏡、MEMS微結構量測平台等。
創作人
胡恩德、黃英碩、王偉珉、鄭仲翔
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