V型多模式奈米定位致動器
V型多模式奈米定位致動器
本院覽號
02A-931109
公告日期
智財權狀態
美國US7301257B2已獲證
摘要
長行程奈米級定位致動器，移動行程5mm以上，可達到±0.2％線性度、±1％重複定位精度，機構緊致不佔空間。可以在慣性驅動、摩擦驅動與掃描三種模式之下運作，分別可以達到奈米與原子級解析度。堆疊多個致動器可得到多軸之運動。
技術優勢
製作成本低廉，加工簡便。 比同級產品更高之定位解析度與重複定位精度。 體積小不佔空間。
應用範圍
SPM探針粗調平台。 長行程奈米級定位致動。 微、奈米級粒子搬移。
創作人
黃英碩、胡恩德、黃光裕
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V型多模式奈米定位致動器
