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設備由基於顯微鏡的圖案照明模塊和可控制的移動模塊組成，該模塊允許顯微鏡物鏡和樣品之間的相對平面運動。 為了照亮樣品的大面積中的微觀圖案，首先照亮一個視野（FOV）中的局部微觀圖案，然後按照一條合適的路徑照亮相鄰FOV中的另一局部微觀圖案。 每個FOV處的照明模式可以不同。 順序視場的移動路徑可以是以下路徑之一：（1）平行軌道路徑； （2）爬行線路徑； （3）擴大方形路徑。 物鏡和樣品的相對運動可以通過受控的物鏡運動或受控的樣品運動來完成。 沿著該路徑，在移動到下一個FOV之前，一次完成一個FOV的圖案照明。