線性致動模組
線性致動模組
本院覽號
02A-1010130
公告日期
智財權狀態
台灣(發明)I458902已獲證、美國US 8,893,627 B2已獲證
摘要
使用耦合式設計概念，在提供奈米級線性位移解析度前提下同時提高致動器之剛性。此設計可以大幅降低線性致動器的複雜度，並達到模組化之優點，只要修改外殼即可輕易替換到不同的平台上使用。
技術優勢
結構簡單，容易組裝。 模組化設計，可應用於不同平台。 結構剛性高，可提升系統穩定性。
應用範圍
手調精密位移平台之自動化升級。 原子力顯微鏡之Z軸粗調。 共焦顯微鏡之高解析Z軸平台。 光學平台之自動化精密定位。
創作人
胡恩德、黃英碩、王偉珉
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