精密位移量測系統之自動瞄準與抗飄移機制
技術授權與產學合作諮詢
精密位移量測系統之自動瞄準與抗飄移機制
本院覽號
02A-980626
公告日期
智財權狀態
美國US 8,606,426 B2已獲證、台灣(發明)I 415121已獲證、PCT已申請、中國1653830放棄維護、歐盟放棄申請
摘要
一種自動對準與抗飄移機制用於量測儀器中訊號緩慢飄移之補償。材料受熱膨脹或機械應力釋放是造成緩慢訊號飄移的主要因素，這樣的緩慢飄移可透過自動對準與抗飄移機制補償。量測探頭可藉由此機制維持其最偵測靈敏度，用於偵測樣品表面的機械動態震動，例如微懸臂樑或任何使用微機電製程所製作的微結構。
技術優勢
可有效降低因環境變化而造成之訊號飄移 設置簡單，便於應用在現有儀器上
應用範圍
掃描探針顯微術之熱飄移補償 生化感測器之熱飄移補償 微機電結構檢測 微、奈米級定位致動器回饋之熱飄移補償
創作人
黃英碩、胡恩德、Hartmut.Illers、Hans Urich Danzebrink
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精密位移量測系統之自動瞄準與抗飄移機制